125单晶硅片技术指标
单晶制备方法
CZ
导电类型
P
掺杂剂
Boron(B)
晶向
<100>
晶向偏离度
<±3°
电阻率范围(ρ)
0.5-3Ω·cm或3-6Ω·cm
少数截流子寿命(τd)
>10μS
氧含量(Oi)
≤1.0*1018/cm3
碳含量(C)
≤5.0*1018/cm3
位错密度(Nd)
≤3000/cm2
硅片尺寸
125*125±0.5mm
硅片直径
150mm±0.5
厚度
200±20μm
总厚度变化
<50μm